চিপ প্যাকেজিংয়ের জন্য ব্যবহৃত উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি মাইক্রো রেজোনেন্ট রোটারি ভয়েস কয়েল মোটর

উচ্চ-নির্ভুলতা সরাসরি ড্রাইভ পাওয়ার উপাদান হিসাবে, ঘূর্ণনশীল ভয়েস কয়েল মোটর ওয়েফারের সারিবদ্ধতা এবং অবস্থান প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের কোণ ক্যালিব্রেশনে একটি মূল ভূমিকা পালন করে,এর মূল সুবিধার জন্য ±0.01° ঘূর্ণন পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা, মিলিসেকেন্ডের স্তরের প্রতিক্রিয়া গতি, জগ-মুক্ত অপারেশন, এবং কম পরিধান।ওয়েফারের কোণীয় বিচ্যুতি সরাসরি পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলির নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করে. ঘূর্ণনশীল ভয়েস কয়েল মোটর দ্রুত ভয়েস পজিশনিং সিস্টেম থেকে ফিডব্যাকের ভিত্তিতে সূক্ষ্ম-কোণ ঘূর্ণন সমন্বয় সম্পাদন করতে ওয়েফার স্টেজ চালাতে পারে,যার রেসপন্স টাইম ১০ এমএসের কম, লিথোগ্রাফি মাস্ক এবং ইটচিং পথের সাথে ওয়েফারের সুনির্দিষ্ট সারিবদ্ধতা নিশ্চিত করে। এটি ± 0.1° এর মধ্যে পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নির্ভুলতা সরবরাহ করে,অতি পাতলা এবং অনিয়মিত আকৃতির ওয়েফারগুলির জন্য উচ্চ নির্ভুলতা সমন্বয় প্রয়োজনীয়তা পুরোপুরি পূরণ করেউপরন্তু, এর কম্প্যাক্ট কাঠামোগত নকশা সীমিত ডিভাইস স্পেসে একীকরণের অনুমতি দেয় এবং ওয়েফার সমন্বয় প্ল্যাটফর্মের সমন্বিত নকশা প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।